新製品開発時及び製造工程の問題解決

半導体関連キャリア20年以上の担当者が対応

株式会社B-Passion（ビーパッション）は、人材派遣事業のサポートを行っていますが、このたび顧客様にさらに満足頂ける様に新製品開発時及び製造工程における問題点の解決の為のサポートとして、解析サポートサービス業務（パ−トナー企業との提携）を開始いたしましたので、宜しくお願いいたします。

コンサルティングから報告書作成まで、お客様のご要望にお応えします。
解析方法や、解析の結果から考えられる発生要因も、半導体関連キャリア20年以上の担当者が対応させて戴きますので、ご安心ください。

不良解析実例

ピン間特性確認

• お客様より頂いた情報を元に不具合ピンのピン間特性をカーブトレーサで確認します。
• 装置：カーブトレーサ　日本テクトロニクス　370B　等

モールド開封/ＣＳＰチップ抽出

• 発煙硝酸などの薬品を使用してモールドを開封し、チップ表面が観察できるようにします。
• 装置：アズワン　酸ドラフト湿式スクラバー　等

チップ表面観察

• 開封後のサンプルのチップ表面を観察し、破壊痕などが無いか確認します。
• 装置：金属顕微鏡　オリンパス　BX-51M-58MD　等

液晶解析

• 破壊痕が見つからない場合もしくは確証が無い場合は、液晶観察で発熱箇所を特定します。
• 装置：金属顕微鏡　オリンパス　BX-51M-58MD　等

ＥＭＭＩ/ＯＢＩＲＣＨ解析

• 上記液晶にて発見できないような微小リークや、ファンクション的な不具合については、エミッションもしくはオバーク解析手法を用います。
• 装置：エミッション顕微鏡　浜松ホトニクス　PHMOS-1000

デプロセス/ＳＥＭ観察

SSX-550

• 特定した破壊箇所の素子レベルの破壊状況を観察し、不具合発生メカニズムを検証する為薬品／ガス又は研磨などの手法を用いて、チップのデプロセスを行いＳＥＭで観察します。
• 装置：ドライエッチャー　日本サイエンティフィック　ES371
• ＳＥＭ：島津製作所　SSX-550　等

 

パッケージ構造解析実例

SMX-160E

X線によるワイヤー
・X線による ワイヤー屑混入画像

X線解析

• Ｘ線にて製品のワイヤリング等を非破壊の状態で透視観察します。
  アーム装着により、多方向からの観察が可能です。
• 装置：Ｘ線装置　島津製作所　SMX-160E

SAT解析

• 超音波による非破壊状態での剥離観察を行ないます。
  また、程度の激しいチップクラックの確認も可能です。
• 装置：ＳＡＴ装置　日立建機　mi-scope　hyper

モールド開封/CSPチップ抽出

• 発煙硝酸などの薬品を使用してモールドを開封し、チップ表面が観察できるようにします。
• 装置：アズワン　酸ドラフト湿式スクラバー　等

金属顕微鏡観察

チップ断面観察

定性分析
（元素スペクトル）

EDXによる面分析

• 開封後のサンプルのチップ表面を観察し、ワイヤーオフ、スクラッチなどが無いか確認します。
• 装置：金属顕微鏡　オリンパス　BX-51M-58MD　等

SEM観察

• ＳＥＭを使用し、特定した破壊箇所の拡大観察及び、マイクロレベルの不具合の観察を行ないます。
  また異物のＥＤＸ分析も可能です。
• 装置：ＳＥＭ　島津製作所　SSX-550　等

断面解析

• 特定した不具合箇所の断面状態を観察する為、切断機・研磨機を使用した断面解析を実施します。
  その後必要があればＳＥＭ観察を実施します。
• 装置：切断機　ビューラー　ISOMET1000
• 研磨機：丸本ストルアス　テグラボール-25　等

 

解析装置一覧

	項目	保有装置	会社名	装置型番	精度／特徴
外観確認	目視検査	実体顕微鏡	オリンパス	SZX9-3112	285倍まで拡大可能
	外観寸法	測定顕微鏡	オリンパス	STM-MJS	最小0.5μmのX-Y-Zの測定が可能
非破壊確認	剥離観察	SAT	日立建機	Mi-scope hyper	25MHzのトランデューサーで測定可能
	透視観察	X線透視装置	島津製作所	SMX-160E	焦点寸法1μmのX線による透視観察
	V-I特性	FA-master	日本サイエンティフィック	FB102	印加電圧範囲　±0.5〜25V最小分解能0.012V
	温度評価	リフロー装置	タムラ	TNR15-225LH	鉛フリー対応、N2供給可、HAT温度プロファイル作成可能
	コプラナリティ/反り	レーザー変位計	コムス	CAM-02DT	±1ｍｍの傾きの測定
破壊確認	開封観察	酸ドラフト湿式スクラバー	アズワン	AHSP-1500SC	酸系薬品専用のスクラバー
		有機ドラフト乾式スクラバー	アズワン	CD-900SW	有機溶剤専用のスクラバー
		オートデキャッパー	日本サイエンティフィック	PS101	自動で開封を行なう装置（硫酸・発煙硝酸使用）
		ドライエッチャー	日本サイエンティフィック	ES371	多層配線にも対応できる異方性エッチングが可能
		金属顕微鏡	オリンパス	BX-51M-58MD	500倍まで拡大可能
	断面観察	切断機	ビューラー	ISOMET1000	試料をダイアモンドブレードにより切断する装置
		研磨機	ビューラー	METASERV2000	回転速度50〜500rpm（連続可変）
		研磨機	丸本ストルアス	テグラポール-25	回転速度40~600rpm（連続可変）
		小型自動研磨機	ビューラー	MINIMET1000	粗研磨〜最終仕上研磨まで行なうことが可能
	分光解析	エミッション顕微鏡	浜松ホトニクス	PHEMOS-1000	OBIRICH機能付
	高倍率観察	SEM観察	島津製作所	SSX-550	分解能：3.5nm。倍率:×20〜30万倍
		SEM観察	HITACHI	S-4000	分解能：15Å。倍率:×20〜30万倍
	元素分析	EDX装置	島津製作所	SEDX-500	C〜Uまでの元素分析（定量、定性、マッピング分析)
		EDX装置	EDAX	Standard	Be〜Uまでの元素分析（定量、定性、マッピング分析)
	シェア強度	Auボールシェア強度計	アークテック	DAGE　BT2400A	Auボールシェアのみ測定可能
	プル強度	プル強度計	アークテック	DAGE　BT2400A